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名称：爱德华/STP-iXA2206 |
| 品名：真空泵 | |
| 规格：STP-iXA2206 | |
| 型号：STP-iXA2206 |
- 品牌/型号：爱德华/STP-iXA2206
- 规格：STP-iXA2206
- 型号：STP-iXA2206
- 品牌：爱德华
- 用途：真空泵
- 材质：铸铁
- 驱动方式：电动
- 极限压力：10-7 Pa（pa）
- 爱德华真空泵：STP-iXA2206
概要
STP-iXA2206系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内领先的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的STP-iXA2205系列的最新技术）。该泵的高度等于STP-A2203C的高度，也等于STP-iXA2205系列（不带其电源供给(iPS-1200)）的高度。这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。
用途
- 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
- 电子回旋共振(ECR)刻蚀
- 薄膜沉积CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 溅射
- 离子注入源，射束线泵送和站
功能与优势
- 紧凑型设计，包括完全集成的控制器
- 创新性自传感轴承系统
- 数字化5轴控制
- 与现有涡轮泵相比振动级别降低了50%
- 可以配置为运行腐蚀性制程
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入口法兰尺寸 |
ISO250F/VG250/ICF305 |
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前级抽气口尺寸 |
KF40 |
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抽速N2/Ar |
2200/1900 ls-1 |
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压缩比N2/H2 |
>108/ 1 x 104 |
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极限压力 |
10-7Pa (10-9Torr) |
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允许的前级压力 |
266 Pa (2 Torr) |
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最大气流N2*（仅水冷） |
3000 sccm |
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(5.07 Pam3s-1) |
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最大气流Ar *（仅水冷） |
1400 sccm |
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(2.36 Pam3s-1) |
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额定速度 |
27000 rpm |
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运转到90%额定速度的时间 |
<8分钟 |
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固定位置 |
任何方向 |
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输入电压 |
200-240 V |
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最大输入功率（不带TMS） |
1200 VA |
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重量 |
62 kg |
*最大气流适用于在15-25 °C之间的水冷却温度下连续泵送N2或Ar气体，并且使用前级泵（10,000 l/min大小）的情况。它会随条件变化而变化。